경계현 사장 “ASML과 NA EUV 공동 개발 추진”
[데일리한국 안효문 기자] 이재용 삼성전자 회장이 15일 네덜란드에서 귀국, 현지 대표 반도체 장비업체인 ASML과의 협업 강화를 시사했다.
업계에 따르면 이재용 회장은 이날 오전 윤석열 대통령의 네덜란드 국빈 방문 동행을 마치고 서울 김포공항 비즈니스센터를 통해 귀국했다. 이 자리에서 이번 순방 성과에 대한 취재진의 질문에 "반도체가 거의 90%였다"며 밝은 표정으로 답했다.
삼성전자와 ASML은 지난 12일(현지시간) 네덜란드 ASML 본사에서 진행된 한-네덜란드 반도체 협력 협약식에서 업무협약(MOU)을 맺고 7억유로(한화 약 1조원)를 투자해 차세대 노광장비 개발을 위한 극자외선(EUV) 공동 연구소 설립을 추진하기로 했다.
ASML은 최첨단 반도체 양산에 필요한 EUV 노광장비를 세계에서 유일하게 생산하는 기업으로, 반도체 업계에서는 '슈퍼 을(乙)'로 불린다.
ASML이 조만간 출하할 ‘하이 뉴메리컬어퍼처(High NA) 극자외선(EUV)’ 장비는 삼성전자와 대만 TSMC, 미국 인텔이 치열한 경쟁을 벌이고 있는2㎚ 공정의 핵심 장비다.
현재 인텔이 6대, 삼성전자와 TSMC가 2025년 각 5대씩을 확보한 것으로 알려졌다. 삼성전자는 2025년부터 2㎚ 칩 양산에 돌입하는 것을 목표로 한다.
이 회장과 동행한 경계현 삼성전자 반도체(DS)부문 사장은 "이번 협약은 경기도 동탄에 공동 연구소를 짓고 거기서 하이 NA EUV를 들여와서 ASML 엔지니어와 삼성의 엔지니어들이 같이 기술 개발하는 것이 주목적”이라며 "장비를 빨리 들여온다는 관점보다는 공동 연구를 통해 삼성이 하이 NA EUV를 더 잘 쓸 수 있는 협력관계를 맺어가는 게 더 중요하다고 본다"고 설명했다.