[데일리한국 김언한 기자] SK하이닉스는 ‘저전력 장비 개발 및 도입’을 중심으로 탄소 저감 활동을 하고 있다고 2일 밝혔다.

회사가 지난해 협력사와의 협업해 처음 도입한 이너 히터는 기존 대비 50% 높은 효율로 전력 사용량을 줄인다.

이너 히터는 장비의 배관 겉면에 부착된 히터를 배관 안쪽에 넣는 방식으로, 배관 안에 불순물이 생기는 것을 줄여준다. 장비 효율은 높아지고 전력 소모는 줄어든다.

SK하이닉스는 올해부터 활용 분야를 점차 확대해 나간다는 계획이다.

또, 반도체 공정에서 생기는 가스와 화합물을 가장 먼저 제거하는 1차 스크러버의 효율도 개선했다.

SK하이닉스는 협력사와 함께 공정가스 사용량을 조절하거나, 저전력으로도 처리 가능한 공정가스를 개발하는 등 1차 스크러버의 처리 효율을 높여나가고 있다.

또 회사는 1차 스크러버 자체의 물과 전력 사용량을 줄이기 위해 신규 설비를 개발 중이다. 운영 효율성을 높이기 위한 통합 처리 시설 도입도 추진한다. 향후 건설될 신규 팹에 1차 스크러버의 온실가스 처리 효율을 획기적으로 개선하고, 전력 사용량을 40% 이상 줄이는 것이 목표다.

SK하이닉스는 이와 관련해 “협력사와 함께 유휴 대기 중인 장비의 저전력 모드 기능을 개발하고 있다”며 “장비의 에너지 소비 효율을 등급화해 체계적으로 관리할 수 있도록 에너지 효율 측정 모드도 개발하는 중”이라고 설명했다.

SK하이닉스는 ‘공정가스 저감 활동’도 시행하고 있다. 반도체 식각 공정 등에 사용되는 가스의 경우 수명이 길고 지구온난화지수(GWP)가 높아 제대로 처리하지 않으면 환경에 미치는 영향이 크다.

회사는 지난해 제조/기술담당 산하의 여러 조직을 모아 태스크포스(TF)를 구성하고 본격적인 온실가스 저감 활동에 나섰다.

그 결과 회사는 T/F(Thin Film) 공정에서 시간차 질량 분석(ToF-MS, Time of Flight Mass Spectrometry) 진단을 통해 공정가스를 줄일 수 있는 13개 공정을 선별해내 온실가스 약 1만2029tCO2e/yr을 감축하는 데 성공했다.

또, 식각 공정에서는 온실가스 배출량이 적은 공정가스로 대체하고 있다. 이에 따라 온실가스 약 3만tCO2e/yr을 줄일 수 있을 것으로 예상된다.