[데일리한국 이기정 기자] 김용운 에이치피에스피 대표이사는 27일 온라인으로 열린 IPO(기업공개) 기자간담회에서 "독보적인 기술력과, 차별성 및 안전성을 기반으로 첨단기술 개발에 대한 신규투자를 통해 글로벌 시장에서의 지위를 강화하겠다”고 강조했다.

에이치피에스피는 지난 2017년 설립된 반도체 분야 고압 수소 어닐링 장비 제조 기업이다. 회사가 세계 최초로 개발한 고압 수소 어닐링 소자 내 접합부의 결함을 줄여 소자 특성 및 성능을 높이는 것으로, 공정 미세화가 요구되는 반도체 공정의 기술개발 흐름에 따라 향후 수요가 더욱 커질 것으로 전망된다.

에이치피에스피는 상장 후에도 고압 수소 어닐링 기술의 진입장벽 및 안정성을 높이기 위한 첨단기술 개발에 적극 투자할 계획이다. 이에 더해 기존 시스템 반도체 중심의 사업 영역에서 메모리 및 특수 시스템 반도체 분야로 사업영역을 확장해 전체 반도체 산업 분야를 아우르는 첨단 공정 장비 시장에서 독보적인 지위 구축을 목표로 하고 있다.

◇ 세계 유일 고압 수소 어닐링 기술..."독보적 지위 구축"

에이치피에스피는 반도체 전공정 가운데 어닐링 공정에 필요한 장비를 연구, 개발 및 판매하고 있다. 특히 세계 최초로 고압 수소를 활용하는 어닐링 장비를 개발해 전체 반도체 시장에서 독보적인 기술력을 보유하고 있다.

최근들어 첨단 반도체의 공정미세화에 따라 높은 유전율을 보이는 대신 고온의 열처리 과정에서 불량 발생률이 높은 고유전율(High-K) 절연막 채택이 늘고 있다.

또 최선단 공정 반도체의 경우 낮은 열 노출량(Thermal Budget)이 요구되므로 기존의 경쟁 장비들의 고온·저압 공정 사용이 제한되는 문제점이 대두됐다. 이 과정에서 어닐링 공정이 제대로 이뤄지지 않으면 반도체 집적 회로의 구동전류 감소, 회로동작 속도 감소, 전자 이동 감소 등의 영향을 받는다.

이에 에이치피에스피는 고압·고농도의 수소(H2),중수소(D2)를 사용해 저온 공정을 가능하게 하는 고압 어닐링 기술 개발을 선제적으로 완료했다. 에이치피에스피의 고압 어닐링 공정은 반도체 소자 구조 상 각 계면의 결함을 고압의 수소·중수소를 사용해 치유하는 과정으로, 이를 통해 반도체 트랜지스터 구동전류 및 집적회로 성능을 향상시킨다.

에이치피에스피가 최초 개발해 양산 검증을 완료한 고압 수소 어닐링 장비 ‘GENI Series’는 28/32nm이하 최선단 공정에서 필수적으로 사용되고 있으며 3nm 이후 공정까지 적용할 수 있다.

◇ 첨단테크 시장 진출 확대...7월 중 상장 목표

에이치피에스피의 주요 고객사는 반도체 파운드리 기업이다. 파운드리 시장은 지난 2020년 770억 달러 규모로 형성됐으며, 오는 2024년에는 1190억 달러 규모까지 연평균 11.5%의 성장세를 보일 것으로 전망되는 만큼 향후에도 꾸준한 수요가 예상된다.

시장 규모 확대와 함께 회사의 실적 역시 꾸준히 동반성장하고 있다. 에이치피에스피의 지난 2021년 실적은 매출액 917억원, 영업이익 452억원으로 전년 대비 각각 50.0%, 82.4% 증가했으며 2022년 1분기 매출액은 371억원, 영업이익은 211억원을 달성했다.

에이치피에스피는 향후 △AP, CPU 등의 로직 및 파운드리 반도체 분야 △DRAM, NAND 등의 메모리 반도체 분야 △전기차와 모바일기기 등 초고해상도 카메라에 사용되는 CIS(CMOS Image Sensor)의 특수 시스템 반도체 분야로 전방 산업 시장 범위를 확장할 계획이다. 

이에 더해 자율주행, AI, 5/6G 등 첨단 산업으로 전환되는 과정에서 반도체 초미세 공정에 대한 니즈가 커지고 있는 만큼, 에이치피에스피는 신규 고압 공정 개발을 통한 최선단 공정 반도체의 성능을 높이는 데 주요한 역할을 담당하고 고압 공정에 대한 수요를 창출해 나갈 계획이다.

한편, 에이치피에스피의 총 공모주식수는 300만주, 주당 공모 희망가는 2만3000~2만5000원이다. 이번 공모를 통해 최대 750억원을 조달한다. 대표주관사는 NH투자증권으로 이달 29일~30일 기관투자자 대상 수요예측을 진행해 최종 공모가를 확정하고 7월 6일~7일 일반 청약을 받은 뒤 7월 중 상장 예정이다.